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半導體無(wú)塵車(chē)間凈化工程技術(shù)方案及**難點(diǎn)處理
[ 時(shí)間：2019-04-17 閱讀：1497次 ]
做任何行業(yè)的無(wú)塵車(chē)間，首先就需要從該行業(yè)的特征和難點(diǎn)出發(fā)，進(jìn)行合理設計。半導體是一種導電性可受控制，范圍可從絕緣體至導體之間的材料。半導體的分類(lèi)，按照其制造技術(shù)可以分為：集成電路組件，分立器件、光電半導體、邏輯IC、模擬IC、儲存器等。日常生活中，我們比較常見(jiàn)的是集成電路和光電半導體。
半導體組件體積小，對精度要求高，單位通常以微米計算，半導體無(wú)塵車(chē)間有面積大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等特點(diǎn)。微塵顆粒沾附在半導體組件上，便很容易造成短路或斷路的嚴重后果，因此要求所有半導體制程設備都必須安置在安全無(wú)塵的密閉空間中。半導體無(wú)塵車(chē)間建立的目的是為了過(guò)濾循環(huán)空氣建議無(wú)塵環(huán)境，調節空氣建立恒溫恒濕環(huán)境，建立正壓環(huán)境避免外氣污染。
半導體無(wú)塵車(chē)間潔凈室與各系統關(guān)系如下：
無(wú)塵車(chē)間參數
1.壓差：主車(chē)間對相鄰房間≥5Pa；
2.平均風(fēng)速：100級0.3－0.5m/s；
3.噪聲≤65dB（A）；
4.新風(fēng)補充量是總送風(fēng)量的10％－30％；
5.照度300LX。
6.溫度：20-26度，（車(chē)間），溫度：12-23度（用于產(chǎn)品測試）
7.濕度：50-70%RH，（車(chē)間），濕度40-85%RH（用于產(chǎn)品測試）
8.凈化等級：100級－30萬(wàn)級（用于測試），1000-30萬(wàn)級用于生產(chǎn)。
半導體制造對無(wú)塵車(chē)間工程環(huán)境的控制有較為嚴格的要求，FFU循環(huán)系統不僅節省運行空間、潔凈度安全性高、運行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時(shí)進(jìn)行系統升級和調整，這些都能很好地滿(mǎn)足半導體制造的需求，因此在半導體制造業(yè)FFU循環(huán)系統逐漸成為***主要的無(wú)塵車(chē)間工程設計方案。
ESD也是半導體制造環(huán)境控制的重要內容，靜電釋放可能對產(chǎn)品和生產(chǎn)設備造成損害，還可能引起硅片表面塵粒吸附，影響產(chǎn)品的良率。
半導體無(wú)塵車(chē)間設計及運行注意事項：
1.半導體潔凈無(wú)塵車(chē)間內部要確保粉塵只出不進(jìn)，因此潔凈無(wú)塵車(chē)間室內要保持大于大氣壓的環(huán)境。這就需要用大型鼓風(fēng)機將經(jīng)凈化設備的空氣源源不絕地打入潔凈車(chē)間
2.為保持恒溫與恒濕，大型空調設備須搭配前述之鼓風(fēng)加壓系統使用。鼓風(fēng)機加壓多久，空調就得開(kāi)多久。
3.所有經(jīng)凈化設備的空氣流動(dòng)方向均由上往下為主，因此，潔凈無(wú)塵車(chē)間室內空間設計或機臺擺放應避免突兀，使塵埃細菌等在潔凈無(wú)塵車(chē)間內回旋停滯的機會(huì )與時(shí)間減至***低程度。
4.半導體潔凈無(wú)塵車(chē)間所有用得到的氣源，包括吹干晶圓及機臺空壓所需要的，都得使用氮氣(98%)，吹干晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮。
在半導體無(wú)塵車(chē)間的建造過(guò)程中，除了廠(chǎng)房的主體結構施工以及上述的**難點(diǎn)外，還有潔凈建筑裝飾施工、凈化空調系統及其風(fēng)管、過(guò)濾器的施工安裝、高純水系統及其管線(xiàn)的安裝、高純氣體系統（含特種氣體供應等）及其管線(xiàn)安裝、真空系統及其管線(xiàn)的安裝、化學(xué)品供應系統及其管線(xiàn)的安裝、各種排風(fēng)和排氣系統及其處理設備的安裝、消防安全報警系統及其控制設備的安裝、變配電、電氣系統及其橋架、配管配線(xiàn)的安裝、照明系統及燈具的安裝、防微振裝置的安裝、生產(chǎn)工藝設備及其配管配線(xiàn)的安裝等。
